半导体。
相同的粒子数，更少的循环次数。纳米气泡水可将污染物从制程零件、管路与槽体上剥离——在不使用超声波能量、也不更动既有药液的前提下缩短周转时间。
相同成果。
更少循环。
零件、管路与槽体目前的清洁方式，是注水、搅动、反复进行——不论是超声波槽或缓慢滚动，都得一循环接着一循环，直到粒子数不再下降为止。每一次循环都要耗掉一小时与一整槽的水。纳米气泡水改变的是液体在表面上的作用方式：污染物更早脱离，并保持悬浮而不再沉降回表面，因此粒子数能在更少的循环中达标。
- 以更少的循环次数达到相同粒子数
- 缩短单件周转时间，制程无须更动
- 无需超声波能量，也无须更动既有药液
- 带电气泡使微粒保持悬浮——不再沉积
基本物理特性。
气泡直径，适用于亚微米微粒剥离
纳米气泡在清洗槽中的稳定性
表面电荷使微粒不再附着于表面
导入位置。
槽体照既有作法注入部分水量并缓慢滚动，改变的只有水本身：当内壁依序通过水中，附着的污染物随即脱离、保持悬浮而不再沉降回表面，并随排水离开——因此粒子数能在更少的循环中下降。
制程零件与腔体部件
石英件、喷嘴、电极与载具就在原本的槽中完成清洁——缩短拆解与重组之间的周转时间。
管路、管线与槽体
供应管线、循环回路与储槽可由原本即在其中流动的流体就地清洁——无需拆解，也不会残留需要中和的物质。
槽体、桶槽与载具
大型内衬与电解抛光槽体，仍照现行方式注水、滚动、排放。改变的只是每一趟水做的事更多，因此达到粒子数标准所需的趟数更少。
管线中即时加注，无需新设备
气泡于使用端直接注入水中，并可稳定维持一整个班次——因此作业流体仍然是水，通过既有管线输送即可。
三大优势。
更少循环
污染物在表面接触到水的当下即行脱离，不必等待整段浸泡时间——粒子数因此能以更少的趟数达标，每件零件待在槽中的时间也更短。
更省力
无超声波换能器需要维护，无需人工刷洗，槽体的操作方式也完全不变。清洁就在您原本已在进行的注水过程中完成。
无需重新验证
零件在送进晶圆厂之前就已完成清洁，因此不需要通过厂内的机台验证。作业流体仍是同样的水，只是溶入了气体；而强负表面电荷正是让已剥离的微粒不再沉降回表面的关键。