Bán dẫn.
Cùng số hạt, với ít chu kỳ hơn. Nước bong bóng nano tách chất bẩn khỏi linh kiện quy trình, đường ống và bồn chứa — rút ngắn thời gian quay vòng mà không cần năng lượng siêu âm và không thay đổi hóa chất của bạn.
Cùng kết quả.
Ít chu kỳ hơn.
Hiện nay linh kiện, đường ống và bồn chứa được làm sạch bằng cách đổ nước, khuấy động rồi lặp lại — bể siêu âm hoặc lăn chậm, chạy hết chu kỳ này đến chu kỳ khác cho tới khi số hạt ngừng giảm. Mỗi chu kỳ tốn một giờ và một lần đổ đầy. Nước bong bóng nano thay đổi cách chất lỏng tác động lên bề mặt: chất bẩn bong ra sớm hơn và giữ lơ lửng thay vì lắng trở lại, nên số hạt đạt ngưỡng sau ít lượt hơn.
- Đạt cùng số hạt trong ít chu kỳ hơn
- Rút ngắn thời gian quay vòng mỗi linh kiện mà không đổi quy trình
- Không cần năng lượng siêu âm và không thay đổi hóa chất
- Bong bóng tích điện giữ hạt lơ lửng — không tái lắng đọng
Các thông số nền tảng.
đường kính bong bóng cho việc tách hạt dưới micron
độ ổn định của bong bóng nano trong bể rửa
điện tích bề mặt giữ hạt không bám trở lại bề mặt
Vị trí ứng dụng.
Bồn được đổ một phần nước và lăn chậm, đúng như cách làm hiện nay. Thứ duy nhất thay đổi là nước: mỗi khi một phần thành bồn đi qua nước, chất bẩn bong ra, giữ lơ lửng thay vì lắng trở lại, rồi theo dòng thoát ra ngoài — nên số hạt giảm xuống chỉ sau ít chu kỳ hơn.
Linh kiện quy trình & bộ phận buồng
Linh kiện thạch anh, vòi phun, điện cực và giá đỡ được làm sạch ngay trong bể sẵn có — rút ngắn thời gian quay vòng giữa tháo dỡ và lắp lại.
Đường ống, tuyến dẫn & bồn chứa
Tuyến phân phối, vòng tuần hoàn và bồn chứa được làm sạch tại chỗ bằng chính dòng chất lỏng đang chảy qua — không cần tháo rời và không để lại gì phải trung hòa.
Bồn, thùng & giá đỡ
Các bồn lớn có lớp lót hoặc đánh bóng điện hóa vẫn được đổ đầy, lăn và xả đúng như hiện nay. Chỉ là mỗi lượt nước làm được nhiều hơn, nên cần ít lượt hơn để đạt ngưỡng.
Nạp ngay trên đường ống, không cần thiết bị mới
Bong bóng được nạp vào nước ngay tại điểm sử dụng và giữ ổn định suốt một ca làm việc — nên chất lỏng làm việc vẫn là nước, dẫn qua hệ thống ống sẵn có.
Ba lợi thế.
Ít chu kỳ hơn
Chất bẩn bong ra ngay khi bề mặt gặp nước, thay vì phải chờ hết thời gian ngâm — nên số hạt đạt ngưỡng sau ít lượt hơn và mỗi linh kiện ở trong bể ít thời gian hơn.
Ít công sức hơn
Không có bộ phát siêu âm phải bảo trì, không chà rửa thủ công, không thay đổi cách vận hành bể. Việc làm sạch diễn ra ngay trong lần đổ nước bạn vẫn làm.
Không phải thẩm định lại
Linh kiện được làm sạch trước khi vào nhà máy chip, nên không phải vượt qua thẩm định thiết bị trong fab. Chất lỏng làm việc vẫn là nước đó, chỉ hòa tan thêm khí; và chính điện tích bề mặt âm mạnh giữ cho các hạt đã tách không lắng trở lại.
Cùng độ sạch, với ít chu kỳ hơn.
Dù bạn đang rút ngắn thời gian quay vòng làm sạch linh kiện hay muốn khai thác nhiều hơn từ bể rửa sẵn có — nền tảng bong bóng nano của Nable vận hành cùng thiết bị đã có tại xưởng.